半導体集積回路の製造プロセスにおける容易かつ正確な温度管理を実現貼るだけで温度を視認・管理できる温度シール・温度ラベルです。
半導体製造工程の微細化・大口径化が進む中で、バラつきへ多大な影響を及ぼす一因であるデバイス製造プロセス中のウェハー温度の管理、制御への要求はますます厳しいものとなっています。
Wahl社は、半導体製造現場からの要望にこたえ、世界で初めて真空用温度測定ラベルをリリースし、業界標準品として高い信頼を得ています。
基板からの脱ガスやデポジション時の最高温度の均一性の測定、および密着性やグレーンサイズとの関連評価