ウエハー表面温度測定に最適

パーツナンバー	温度レンジ(℃)	1ケース 税別価格
VL-40	40-45-50-55	¥5,800
VL-60	60-65-70-75	¥5,800
VL-80	80-85-90-95	¥5,800
VL-100	100-105-110-115	¥5,800
VL-120	120-125-130-135	¥5,800
VL-140	140-150-160-170	¥5,800
VL-180	180-190-200-210	¥5,800

使用上の注意

商品概要

• 貼っておくだけで表面温度を記録
• 特定温度でシャープに変色
• 不可逆なので確実な永久記録
• 常時監視することなく温度把握
• 接近しにくい箇所の測定が可能

商品特徴

1Pa〜常圧下で使用するためのラベル形状の温度管理材です。
温度管理したい部分にラベルを貼るだけで、配線・電源なしで温度を管理することができます。
指示温度以上で、示温部が淡黄色から黒色に不可逆的に変色し、温度履歴を確認することができます。
減圧条件下でも変色温度±2℃〜4℃で測定可能です。
ラベルからのアウトガスを抑えるために、構成材料にローアウトガスのものを使用しています。

用途

エッチング、真空蒸着、加工工程時の温度管理

構造